UHP gaz eltmek ulgamlary näme üçin şeýle möhüm?
Ýarymgeçirijiler önümçiliginde — aşındyrmak, CVD, ion implantasiýa we litografiýa ýaly proseslerde — proses gazlary örän ýokary arassalykda, adatça 99.9999% (6N) ýa-da hatda 99.99999% (7N) bolmalydyr. Hatda ppb (milliardda bölekler) ýa-da ppt (trillionda bölekler) derejesinde — çyglylyk ýa-da kislorod ýaly — yzky hapalanmalar hem derweze oksidiniň inçelmegi, metal boşluklary ýa-da plastinalarda gysga zynjyrlar ýaly ölüm howply kemçiliklere sebäp bolup, tutuş bölekleriň zaýalanmagyna sebäp bolup biler.
Şonuň üçin UHP gaz eltme ulgamynyň wezipesi gazlary çeşmeden proses guralyna arassalygy peselmezden daşamak, her bir nokada hapalanmagyň we syzmagyň öňüni almakdyr.
EP turbalary näme üçin UHP ulgamlarynyň esasyna öwrülýär?
EP (elektropolýasiýa edilen) turbalary elektrohimiki polishing prosesinden geçýän we aýna ýaly içki ýüzi emele getirýän polatdan ýasalýar. Bu bolsa ony UHP gaz paýlaýyş üçin aýrylmaz "arteriya" öwürýär.
Iň ýokary arassaçylyk – çeşmede öňüni alyş
EP işläp çykarmak içki ýüzüň gödekligini (Ra) 0,13 µm – 0,25 µm ýa-da ondan hem aşak düşürýär. Bu örän ýumşak örtük mikroskopiki ýaryklary we adsorbsiýa ýerlerini ýok edýär, bölejikleriň, metal ionlarynyň ýa-da çyglylygyň ýapyşmagyna ýer galdyrmaýar.
Korroziýa garşylygynyň ýokarlandyrylmagy – Arassalygyň goralmagy
Elektropollamak tapgyry ýüzleý hapaçylyklary aýyrýar we hrom oksidine baý passiw gatlagy emele getirýär, bu bolsa Cl₂, CF₄ we HCl ýaly poslaýjy gazlara garşy durnuklylygy ep-esli gowulandyrýar. Bu bolsa, bölejikleriň ýa-da daşarky gazlaryň hapalanmagyna sebäp bolup biljek turba diwarlarynyň poslamagynyň öňüni alýar.
Akym netijeliliginiň ýokarlanmagy we çalt arassalaýyş
Ýumşak içki diwar akym garşylygyny azaldýar we ulgamyň arassalanmagyny we gazyň çalşylmagyny çaltlaşdyrýar. Gazyň çalt çalşylmagyny talap edýän proseslerde bu sikl wagtyny gysgaldýar we önümçilik öndürijiligini ýokarlandyrýar.
Ýokary hilli material – “Täç” standarty
Ýokary hilli EP turbalary 316L VIM-VAR (Wakuum induksiýa eremegi + Wakuum ýaý gaýtadan eremegi) polatdan öndürilýär. Bu goşa ereme prosesi esasy metalyň iň ýokary göwrümli arassalygyny üpjün edýär, bu bolsa EP-niň iň ýokary öndürijiligine ýetmegiň esasy şertidir.
Esasy ulanyş senariýleri
•
Esasy prosesler– Oýmak, ýürek-damar kesellerini bejermek, ion implantasiýasyny we litografiýany ulanmak üçin ýokary arassa reaktiv gazlary eltmek.
•
Ýöriteleşdirilen gazlar– SiH₄, PH₃, Cl₂ we BCl₃ ýaly ýanýan, zäherli ýa-da poslaýan gazlary howpsuz ulanmak. Örän howply gazlar üçin köplenç iki gatlakly EP turbalary ulanylýar (gaz üçin içki turba, syzmalary gözegçilik etmek üçin daşky örtük sowadylan ýa-da azot bilen üflenen).
•
Kritiki enjamlar– Gaz paýlaýjy panellerde (GPP), gaz şkaflarynda we içki ýüzleriň örän arassa bolmagy hökmany bolan proses gurallarynyň birikdirijilerinde ulanylýar.
Tüpleriň daşynda: Doly UHP ulgamy üçin beýleki zerur zatlar
Mutlak bitewüligi üpjün etmek üçin ulgam aşakdakylary hem öz içine almalydyr:
•
Doly Awtomatik Orbital Kebşirleme– ISO 5-nji synp (100-nji synp) ýa-da ondan ýokary arassa otaglarda ýerine ýetirilýär, el bilen kebşirlemekde üýtgeşiklikleri we hapalanma töwekgelçiliklerini aradan aýyrýar.
•
Bütin metal ýüz möhürleýji armaturalar– Mysal üçin, nol syzma netijesini bermek üçin metal prokladkalara daýanýan VCR® ýa-da W-Seal görnüşleri.
•
Güýçli arassalamak we gaplamak– EP turbalary, adatça, ýokary arassa suw bilen arassalanýar, guradylýar we gurnama çenli "iberilen" arassalygyny saklamak üçin arassa otag gaplamasyna iki gezek gaplanmazdan öň azot bilen arassalanýar.
EP turbalary diňe bir turba däl - ol ýarymgeçiriji gaz eltmede ilkinji gorag liniýasydyr. Onuň örän tekiz ýüzi, ýokary derejeli korroziýa garşylygy we ýokary hilli material arassalygy plastinalaryň çykarylyşyna, enjamyň ygtybarlylygyna we umumy önümçilik girdejiligine gönüden-göni täsir edýär. 5 nm-den kiçi düwünleriň we kemçilikleriň barha berk bolýan býudjetleriniň dünýäsinde EP turbalary hökmany däl - ol esasydyr.
Ýerleşdirilen wagty: 2026-njy ýylyň 5-nji awgusty