As ýarymgeçirijiwe mikroelektron tehnologiýalar has ýokary öndürijilige we has ýokary integrasiýa tarap ösýär, elektron ýörite gazlaryň arassalygyna has ýokary talaplar goýulýar. Ýokary arassa gaz turba tehnologiýasy ýokary arassa gaz üpjünçilik ulgamynyň möhüm bölegidir. Ol ýokary hilli gazy saklamak bilen birlikde, gaz ulanylyş nokatlaryna talaplara laýyk gelýän ýokary arassa gazlary eltmek üçin esasy tehnologiýadyr.
Ýokary arassa turba geçiriji tehnologiýasy ulgamyň dogry dizaýnyny, turba armaturalaryny we kömekçi materiallary saýlamagy, gurluşyk we gurnama hem-de synag işlerini öz içine alýar.
01 Gaz geçiriji turbalaryň umumy konsepsiýasy
Ähli ýokary arassalyk we ýokary arassalyk gazlary turbageçirijiler arkaly terminal gaz nokadyna daşamak zerurdyr. Gazyň eksport indeksi anyk bolanda, gaz üçin prosesiň hiline bolan talaplary kanagatlandyrmak üçin, turba ulgamynyň material saýlamasyna we gurluşyk hiline üns bermek has zerurdyr. Gaz öndürmek ýa-da arassalamak enjamlarynyň takyklygyndan başga-da, oňa turba ulgamynyň köp faktorlary uly täsir edýär. Şonuň üçin turbalary saýlamakda arassalaýyş pudagynyň degişli ýörelgelerine eýermek we çyzgylarda turbalaryň materialyny bellemek zerurdyr.
02 Gaz daşamakda ýokary arassa turba geçirijileriniň ähmiýeti
Ýokary arassa gaz daşamakda ýokary arassa turba geçirijileriniň ähmiýeti Dat almaýan polat eremek prosesinde her tonna takmynan 200g gazy özüne siňdirip bilýär. Dat almaýan polat gaýtadan işlenenden soň, onuň ýüzüne dürli hapa maddalar ýapyşyp galman, eýsem belli bir mukdarda gaz onuň metal toruna siňdirilýär. Turba geçirijisinden howa akymy geçende, metal tarapyndan siňdirilen gazyň bölegi howa akymyna gaýtadan girip, arassa gazy hapalaýar.
Turbadaky howa akymy kesilende, turba geçýän gazda basyş adsorbsiýasyny emele getirýär. Howa akymy geçmegi bes edende, turba tarapyndan adsorbsiýa edilen gaz basyşy peseltmegiň analizini emele getirýär we analizlenen gaz hem turbadaky arassa gaza garyndy hökmünde girýär.
Şol bir wagtyň özünde, adsorbsiýa we analiz sikli turbanyň içki ýüzündäki metalyň belli bir mukdarda poroşok öndürmegine sebäp bolar. Bu metal tozan bölejigi turbadaky arassa gazy hem hapalaýar. Turbanyň bu aýratynlygy örän möhümdir. Daşalýan gazyň arassalygyny üpjün etmek üçin diňe bir turbanyň içki ýüzüniň örän ýokary tekizligine eýe bolmak bilen çäklenmän, eýsem ýokary aşynma garşylygyna eýe bolmagy hem zerurdyr.
Gaz güýçli aşyndyryjy häsiýetlere eýe bolanda, turbalar üçin poslama garşy poslamaýan polat turbalar ulanylmaly. Bolmasa, poslama sebäpli turbanyň içki ýüzünde poslama nokatlary peýda bolar. Agyr ýagdaýlarda, uly metal bölekleri solup ýa-da hatda deşilip, daşalýan arassa gazy hapalaýar.
03Turba materialy
Turbanyň material saýlamagy ulanylyş zerurlyklaryna laýyklykda saýlanmaly. Turbanyň hili, adatça, turbanyň içki ýüzüniň gödekligine görä ölçenýär. Gödeklik näçe pes bolsa, onuň bölejikleri daşamagy şonça az bolýar. Umuman, üç görnüşe bölünýär:
BiriEP derejeli 316L turba, elektrolitik usulda jylaňlandyrylan (Elektro-Jaýlaň). Ol korroziýa garşy durnukly we pes ýüzüň büdür-büdürligine eýedir. Rmax (dere beýikligine çenli iň ýokary depe) takmynan 0,3μm ýa-da ondan azdyr. Ol iň ýokary tekizlige eýedir we mikro-göwrümli akymlary emele getirmek aňsat däl. Hapalanan bölejikleri aýyryň. Bu prosesde ulanylýan reaksiýa gazy şu derejede turba arkaly geçirilmelidir.
Biri birBA derejesi 316L"Bright Anneal" bilen işlenen we köplenç çip bilen aragatnaşykda bolan, ýöne proses reaksiýasyna gatnaşmaýan gazlar, mysal üçin, GN2 we CDA üçin ulanylýan turba. Olaryň biri AP turbasydyr (Ýuwmak we Piking), ol ýörite işlenilmeýär we adatça gaz üpjünçilik liniýalary hökmünde ulanylmaýan daşarky turbalaryň iki toplumy üçin ulanylýar.
04 Turba geçirijisiniň gurluşygy
Turbanyň agzyny gaýtadan işlemek bu gurluşyk tehnologiýasynyň esasy nokatlarynyň biridir. Turbanyň kesilmegi we öňünden taýýarlanylmagy arassa gurşawda amala aşyrylýar we şol bir wagtyň özünde kesmezden öň turbanyň ýüzünde zyýanly yzlaryň ýa-da zeperleriň ýokdugyna göz ýetirilýär. Turbanyň açylmazyndan öň turbada azot bilen ýuwulmaga taýýarlyk görülmelidir. Aslynda, ýokary arassalykdaky we ýokary arassalykdaky gaz geçiriji we paýlaýjy turbalary uly akym bilen birikdirmek üçin kebşirleme ulanylýar, ýöne göni kebşirleme rugsat berilmeýär. Korpus birleşmeleri ulanylmaly we ulanylýan turba materialynyň kebşirleme wagtynda gurluşynyň üýtgemezligi talap edilýär. Eger uglerodyň möçberi gaty ýokary bolan material kebşirlense, kebşirleme böleginiň howa geçirijiligi turbanyň içindäki we daşyndaky gazyň biri-birine aralaşmagyna sebäp bolup, daşaýjy gazyň arassalygyny, guraklygyny we arassalygyny ýok eder, bu bolsa agyr netijelere getirip, önümçiligiň hiline täsir eder.
Gysgaça aýdylanda, ýokary arassa gaz we ýörite gaz geçiriji turbalar üçin ýörite işlenen ýokary arassa poslamaýan polat turba ulanylmaly, bu bolsa ýokary arassa turba geçiriji ulgamynyň (şol sanda turba geçirijiler, turba armaturalary, klapanlar, VMB, VMP) ýokary arassa gaz paýlamakda möhüm wezipäni ýerine ýetirmegine sebäp bolýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 26-njy noýabry