As ýarymgeçirijiwe mikroelektron tehnologiýalary has ýokary öndürijilige we has ýokary integrasiýa tarap ösýär, elektron ýörite gazlaryň arassalygyna has ýokary talaplar goýulýar. Purokary arassa gaz turbalary tehnologiýasy ýokary arassa gaz üpjünçiligi ulgamynyň möhüm bölegidir. Bu, ýokary hünär derejesini saklamak bilen, gaz ulanyş nokatlaryna talaplara laýyk gelýän ýokary arassa gazlary ibermegiň esasy tehnologiýasydyr.
Arassa arassa turba geçiriji tehnologiýasy ulgamyň dogry dizaýnyny, turba armaturlaryny we kömekçi materiallary saýlamagy, gurluşyk we gurnama we synaglary öz içine alýar.
01 Gaz geçiriji turbalaryň umumy düşünjesi
Highhli ýokary arassalyk we ýokary arassaçylyk gazlary turbageçirijiler arkaly terminal gaz nokadyna daşalmalydyr. Gaz üçin prosesiň hil talaplaryny kanagatlandyrmak üçin, gaz eksportynyň görkezijisi belli bolanda, turba ulgamynyň material saýlanyşyna we gurluşyk hiline üns bermek has zerurdyr. Gaz öndürmek ýa-da arassalamak enjamlarynyň takyklygyna goşmaça, turbageçiriji ulgamynyň köp faktorlary täsir edýär. Şonuň üçin turbalary saýlamak, arassalaýyş pudagynyň degişli ýörelgelerine boýun bolmaly we çyzgylarda turbalaryň materialyny bellemeli.
02 Gaz daşamakda ýokary arassa turbageçirijileriň ähmiýeti
Highokary arassa gaz geçirijilerinde ýokary arassa turbageçirijileriň ähmiýeti Poslamaýan polatdan eremegiň dowamynda her tonna takmynan 200g gaz siňdirip biler. Poslamaýan polat gaýtadan işlenenden soň, diňe bir dürli hapalaýjy maddalar onuň ýüzüne ýapyşman, eýsem demir panjara belli bir mukdarda gaz hem siňdirilýär. Turbageçirijiden howa akymy geçende, metalyň siňdirýän bölegi howa akymyna täzeden girer we arassa gazy hapalar.
Turbadaky howa akymy üznüksiz bolanda, turba geçýän gazda basyş adsorbsiýasyny emele getirýär. Howa akymy geçmegini bes edensoň, turba bilen ýerleşdirilen gaz basyşy azaltmak derňewini emele getirýär we seljerilen gaz hem turbadaky arassa gazy haramlyk hökmünde girizýär.
Şol bir wagtyň özünde, adsorbsiýa we derňew sikli turbanyň iç ýüzündäki metalyň belli bir mukdarda poroşok öndürmegine sebäp bolar. Bu metal tozan bölejigi turbadaky arassa gazy hem hapalaýar. Turbanyň bu häsiýeti gaty möhümdir. Daşalýan gazyň arassalygyny üpjün etmek üçin diňe bir turbanyň iç ýüzüniň aşa ýokary tekizligi talap edilmän, eýsem ýokary aşaga garşylygy hem bolmalydyr.
Gaz güýçli poslaýjy häsiýetlere eýe bolanda, turbalar üçin poslama garşy poslamaýan polat turbalar ulanylmaly. Otherwiseogsam, poslama sebäpli turbanyň iç ýüzünde poslama tegmiller peýda bolar. Agyr ýagdaýlarda uly metal bölekleri gabar ýa-da deşiler, şeýlelik bilen daşalýan arassa gazy hapalar.
03 Turba materialy
Turbanyň material saýlanylyşynyň ulanylyşyna görä saýlanmalydyr. Turbanyň hili, adatça turbanyň iç ýüzüniň gödekligine görä ölçelýär. Gödeklik näçe pes bolsa, bölejikleri götermek ähtimallygy azdyr. Umuman üç görnüşe bölünýär:
BiriEP derejesi 316L turba, elektrolitiki taýdan ýalpyldawuk (Elektro-Polýak). Ol poslama çydamly we ýerüsti çişligi pes. Rmax (jülgäniň beýikligine iň ýokary pik) takmynan 0,3μm ýa-da ondanam pesdir. Iň ýokary tekizligi bar we mikro-akymly toklary emele getirmek aňsat däl. Hapalanan bölejikleri aýyryň. Amalda ulanylýan reaksiýa gazy bu derejede turba geçmeli.
Biri aBA synpy 316LBright Anneal tarapyndan bejerilen we köplenç çip bilen kontaktda, ýöne GN2 we CDA ýaly proses reaksiýasyna gatnaşmaýan gazlar üçin ulanylýar. Biri AP turbasydyr (Annealing & Picking), bu ýörite bejerilmeýär we adatça gaz üpjünçilik liniýasy hökmünde ulanylmaýan daşarky turbalaryň goşa toplumy üçin ulanylýar.
04 Turbageçirijiniň gurluşygy
Turbanyň agzyny gaýtadan işlemek bu gurluşyk tehnologiýasynyň esasy nokatlaryndan biridir. Turbageçirijini kesmek we taýýarlamak arassa gurşawda amala aşyrylýar we şol bir wagtyň özünde, kesilmezden ozal turbanyň üstünde zyýanly yzlaryň ýa-da zeperleriň bolmazlygy üpjün edilýär. Turbageçirijide azotyň ýuwulmagyna taýýarlyk görülmeli. Aslynda, kebşirlemek ýokary arassalygy we ýokary arassalygy gaz geçiriji we paýlaýyş turbalaryny uly akym bilen birleşdirmek üçin ulanylýar, ýöne göni kebşirlemäge ýol berilmeýär. Korpus bogunlary ulanylmaly we kebşirleýiş wagtynda ulanylýan turba materialynyň gurluşynyň üýtgemezligi talap edilýär. Örän köp uglerodly material kebşirlenen bolsa, kebşirleýiş böleginiň howa geçirijiligi turbanyň içindäki we daşyndaky gazyň biri-birine aralaşmagyna sebäp bolar, bu bolsa agyr netijelere sebäp boljak gazyň arassalygyny, guraklygyny we arassalygyny bozar. we önümçiligiň hiline täsir edýär.
Gysgaça aýtsak, ýokary arassa gaz we ýörite gaz geçiriji turbalar üçin ýokary arassa turbageçiriji ulgamyny (turbageçirijiler, turbalar armaturlary, klapanlar, VMB, VMP) öz içine alýan ýörite arassalanan poslamaýan polat turbany ulanmaly. ýokary arassa gaz paýlamakda möhüm wezipe.
Iş wagty: Noýabr-26-2024