sahypa_banneri

Habarlar

Elektron derejeli ýokary arassa gaz geçirijilerine giriş

Mikroelektronika, optoelektronika we biofarmasewtika ýaly pudaklarda,ýagty tawlama(BA), duzlamak ýa-da passiwasiýa (AP),elektrolitik jylamak (EP)we wakuum ikinji derejeli işläp bejeriş, adatça, duýgur ýa-da aşyndyryjy serişdeleri geçirýän ýokary arassa we arassa turba geçiriji ulgamlary üçin ulanylýar. Ereýän (VIM+VAR) önümler.
A. Elektro-jilalanan (Elektro-jilalanan) EP diýlip atlandyrylýar. Elektrokimiki jilalamak arkaly ýüziň morfologiýasyny we gurluşyny ep-esli gowulandyryp bolýar we hakyky ýüz meýdanyny belli bir derejede azaltmaga bolýar. Ýüzi ýapyk, galyň hrom oksidi plýonkasydyr, energiýasy garyndynyň adaty derejesine golaý we serişdeleriň mukdary azalýar - adatça elektron derejeli üçin amatlydyr.ýokary arassa gazlar.
B. Ýagty Tawlama (Ýagty Tawlama) BA diýlip atlandyrylýar. Gidrogenleşdirme ýa-da wakuum ýagdaýynda ýokary temperaturaly ýylylyk bilen işleme, bir tarapdan, içki dartgynlylygy aradan aýyrýar, beýleki tarapdan bolsa, morfologiki gurluşy gowulandyrmak we energiýa derejesini peseltmek üçin turbanyň ýüzünde passiwasiýa plýonkasyny emele getirýär, ýöne ýüzüň gödekligini ýokarlandyrmaýar - adatça GN2, CDA we işlenilmeýän inert gazlar üçin amatlydyr.
C. Duzlanan we passiwleşdirilen/himiki jilolanan (duzlanan we passiwleşdirilen/himiki jilolanan) AP we CP diýlip atlandyrylýar. Turbanyň duzlanmagy ýa-da passiwleşdirilmegi ýüzüň nagyşlygyny ýokarlandyrmaz, ýöne ýüzündäki galan bölejikleri aýryp, energiýa derejesini peseldip biler, ýöne adatça senagat derejeli turbalarda ulanylýan gatlaklaryň sanyny azaltmaz.
 
D. Ikinji derejeli ereýän arassalaýjy wakuum turbasy Vim (wakuum induksiýa eremegi) + Var (wakuum arcremelting), V+V diýlip atlandyrylýar, Sumitomo Metal kompaniýasynyň önümidir. Ol wakuum ýagdaýynda ýaý şertlerinde gaýtadan işlenildi, bu bolsa korroziýa garşylygyny we ýüzüniň gödekligini netijeli gowulandyrýar. Dereje – adatça BCL3, WF6, CL2, HBr we ş.m. ýaly ýokary derejede korroziýa sezewar bolan ýokary arassa elektron derejeli gazlar üçin amatly.

 1712542857617

 

 


Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 8-nji apreli