909-njy taslama Örän uly göwrümli toplumlaýyn zynjyr zawody, dokuzynjy bäş ýyllyk meýilnamanyň çäginde 0,18 mikron we diametri 200 mm bolan çipleri öndürmek üçin ýurduň elektronika pudagynyň esasy gurluşyk taslamasydyr.
Örän uly göwrümli integral zynjyrlaryň önümçilik tehnologiýasy diňe bir mikro gaýtadan işlemek ýaly ýokary takyk tehnologiýalary öz içine alman, gazyň arassalygyna hem ýokary talaplary goýýar.
909-njy taslama üçin esasy gaz üpjünçiligi, ABŞ-nyň “Praxair Utility Gas Co. Ltd.” we Şanhaýdaky degişli taraplaryň bilelikde gaz öndürýän zawody döretmek üçin bilelikdäki kärhana tarapyndan üpjün edilýär. Gaz öndürýän zawod 909 taslama zawody bilen ýanaşyk meýdany takmynan 15,000 inedördül metr meýdany öz içine alýar. Dürli gazlaryň arassalygy we çykyş talaplary
Arassa arassa azot (PN2), azot (N2) we ýokary arassa kislorod (PO2) howanyň bölünmegi bilen öndürilýär. Purokary arassa wodorod (PH2) elektroliz arkaly öndürilýär. Argon (Ar) we geliý (He) daşarky satyn alynýar. Kwaz-gaz 909-njy taslamada ulanmak üçin arassalanýar we süzülýär. Specialörite gaz çüýşelerde berilýär we gaz çüýşesi şkafy toplumlaýyn zynjyr önümçilik zawodynyň kömekçi ussahanasynda ýerleşýär.
Beýleki gazlar, şeýle hem ulanylyş mukdary 4185m3 / sag, basyş çyg nokady -70 ° C we ulanylýan ýerdäki gazda 0.01um-dan köp bolmadyk arassa gury gysylan howa CDA ulgamyny öz içine alýar. Gysylan howa (BA) ulgamy, ulanylyş mukdary 90m3 / sag, basyş çyg nokady 2 ℃, ulanylýan ýerdäki gazdaky bölejikleriň ululygy 0,3umdan köp däl, vakuum (PV) ulgamy, ulanylyş mukdary 582m3 / sag, ulanylyş nokadyndaky wakuum derejesi -79993Pa. Wakuum (HV) ulgamyny arassalamak, ulanylyş mukdary 1440m3 / sag, ulanyş nokadyndaky wakuum derejesi -59995 Pa. Howa gysyjy otagy we vakuum nasos otagy ikisi hem 909 taslama zawodynda ýerleşýär.
Turba materiallaryny we esbaplaryny saýlamak
VLSI önümçiliginde ulanylýan gazyň ýokary arassaçylyk talaplary bar.Purokary arassa gaz turbalaryköplenç arassa önümçilik gurşawynda ulanylýar we olaryň arassalygyna gözegçilik ulanylýan ýeriň arassaçylyk derejesinden ýa-da ondan ýokary bolmalydyr! Mundan başga-da, ýokary arassa gaz turbalary köplenç arassa önümçilik şertlerinde ulanylýar. Arassa wodorod (PH2), ýokary arassa kislorod (PO2) we käbir ýörite gazlar ýangyjy, partlaýjy, ýangyjy ýa-da zäherli gazlardyr. Gaz geçiriji ulgamy nädogry işlenip düzülen bolsa ýa-da materiallar nädogry saýlanan bolsa, diňe bir gaz nokadynda ulanylýan gazyň arassalygy peselmän, eýsem şowsuz bolar. Amal talaplaryna laýyk gelýär, ýöne ulanmak howply däl we arassa zawodyň howpsuzlygyna we arassalygyna täsir edip, arassa zawodyň hapalanmagyna sebäp bolar.
Ulanylýan ýerdäki ýokary arassa gazyň hiliniň kepilligi diňe bir gaz öndürilişiniň, arassalaýjy enjamlaryň we süzgüçleriň takyklygyna bagly bolman, eýsem turbageçiriji ulgamyndaky köp faktorlara köp derejede täsir edýär. Gaz öndürýän enjamlara, arassalaýjy enjamlara we süzgüçlere bil baglasak, gaz turba ulgamynyň nädogry dizaýnynyň ýa-da material saýlanyşynyň öwezini dolmak üçin çäksiz has takyk talaplary girizmek nädogry.
909 taslamanyň taslama prosesinde, “Arassa ösümlikleriň dizaýny kody” GBJ73-84 (häzirki standart (GB50073-2001)), “Gysylan howa stansiýalarynyň dizaýny kody” GBJ29-90, “Kod Kislorod stansiýalarynyň dizaýny üçin ”GB50030-91,“ Wodorod we kislorod stansiýalarynyň dizaýny kody ”GB50177-93 we turbageçiriji materiallary we esbaplary saýlamak üçin degişli tehniki çäreler. “Arassa ösümlikleriň dizaýny kody” turbageçiriji materiallary we klapanlary aşakdaky ýaly saýlamagy göz öňünde tutýar:
. elektrikli içki diwar ulanylmaly. Klapan diafragma klapan ýa-da jaň klapan bolmaly.
. Combangyjy gaz turbageçirijileri üçin ulanylmaly klapanlardan başga, beýleki gaz turbalary üçin top klapanlary ulanylmaly.
(3) Gury gysylan howanyň çyg nokady -70 ° C-den pes bolsa, içerki diwar bilen OCr18Ni9 poslamaýan polat turbany (304) ulanmaly. Çyg nokady -40 below-dan pes bolsa, OCr18Ni9 poslamaýan polat turbasy (304) ýa-da gyzgyn galvanizli polat turbasy ulanylmaly. Bu klapan klapan ýa-da top klapan bolmaly.
(4) Klapan materialy birleşdiriji turba materialy bilen gabat gelmelidir.
Aýratynlyklaryň talaplaryna we degişli tehniki çärelere laýyklykda, turbageçiriji materiallary saýlanylanda esasan aşakdaky taraplary göz öňünde tutýarys:
(1) Turba materiallarynyň howa geçirijiligi az bolmaly. Dürli materiallaryň turbalary dürli howa geçirijiligine eýe. Howanyň geçirijiligi has ýokary turbalar saýlanylsa, hapalanmagy aýryp bolmaz. Poslamaýan polat turbalar we mis turbalar atmosferada kislorodyň girmeginiň we poslamagynyň öňüni almakda has gowudyr. Şeýle-de bolsa, poslamaýan polat turbalar mis turbalaryna garanyňda az işjeň bolansoň, mis turbalar atmosferadaky çyglylygyň içki ýüzlerine aralaşmagyna has işjeňdir. Şonuň üçin ýokary arassa gaz turbalary üçin turbalar saýlanylanda, poslamaýan polat turbalar ilkinji saýlaw bolmaly.
(2) Turba materialynyň içki ýüzi adsorbsirlenen we gazy seljermekde az täsir edýär. Poslamaýan polat turbasy gaýtadan işlenenden soň, demir panjarada belli bir mukdarda gaz saklanar. Highokary arassa gaz geçende, gazyň bu bölegi howa akymyna girer we hapalanmagyna sebäp bolar. Şol bir wagtyň özünde, adsorbsiýa we derňew sebäpli turbanyň iç ýüzündäki metal hem belli bir mukdarda poroşok öndürer we ýokary arassa gazyň hapalanmagyna sebäp bolar. Arassalygy 99,999% ýa-da ppb derejesinden ýokary turba ulgamlary üçin 00Cr17Ni12Mo2Ti pes uglerod poslamaýan polat turbasy (316L) ulanylmaly.
(3) Poslamaýan polat turbalaryň könelmegine garşylyk turbalaryňkydan has gowudyr we howa akymynyň eroziýasyndan emele gelen metal tozany az bolýar. Arassaçylyga has ýokary talaplary bolan önümçilik ussahanalarynda 00Cr17Ni12Mo2Ti pes uglerod poslamaýan polat turbalary (316L) ýa-da OCr18Ni9 poslamaýan polat turbalary (304) ulanylyp bilner, mis turbalar ulanylmaz.
.EP ultra arassa turbalarulanmalydyr. “Ultra tekiz iç ýüzi bilen arassa turba”.
(5) Önümçilik prosesinde ulanylýan ýörite gaz geçiriji ulgamlarynyň käbiri ýokary poslaýjy gazlardyr. Bu turbageçiriji ulgamlardaky turbalar, poslama garşy poslamaýan polat turbalary turbalar hökmünde ulanmalydyrlar. Otherwiseogsam, poslama sebäpli turbalar zaýalanar. Surfaceer ýüzünde poslama tegmiller ýüze çyksa, adaty bökdençsiz polat turbalar ýa-da galvanizli kebşirlenen polat turbalar ulanylmaz.
(6) Aslynda, gaz geçiriji birikmeleriniň hemmesi kebşirlenmeli. Galvanizli polat turbalary kebşirlemek galvanizli gatlagy ýok eder, arassa otaglardaky turbalar üçin galvanizli polat turbalar ulanylmaýar.
Aboveokardaky faktorlary göz öňünde tutup, & 7 & taslamada saýlanan gaz geçiriji turbalary we klapanlary aşakdakylar:
Highokary arassa azot (PN2) ulgam turbalary elektrolizirlenen içki diwarlary bolan 00Cr17Ni12Mo2Ti pes uglerod poslamaýan polat turbalaryndan (316L) we klapanlar şol bir materialyň poslamaýan polatdan ýasalan klapanlaryndan ýasalýar.
Azot (N2) ulgam turbalary elektrolizirlenen içki diwarlary bolan 00Cr17Ni12Mo2Ti pes uglerod poslamaýan polat turbalardan (316L), klapanlar bolsa şol bir materialyň poslamaýan polatdan ýasalan klapanlaryndan ýasalýar.
Highokary arassa wodorod (PH2) ulgam turbalary elektropirlenen içki diwarlary bolan 00Cr17Ni12Mo2Ti pes uglerod poslamaýan polat turbalardan (316L), klapanlar bolsa şol bir materialyň poslamaýan polatdan ýasalan klapanlaryndan ýasalýar.
Highokary arassa kislorod (PO2) ulgam turbalary 00Cr17Ni12Mo2Ti pes uglerod poslamaýan polat turbalardan (316L) elektro-polat içki diwarlar bilen öndürilýär we klapanlar şol bir materialyň poslamaýan polatdan ýasalan klapanlaryndan ýasalýar.
Argon (Ar) ulgam turbalary, elektropirlenen içki diwarlary bolan pes uglerod poslamaýan polat turbalardan (316L) ýasalýar we şol bir materialyň poslamaýan polatdan ýasalan klapanlary ulanylýar.
Geliý (He) ulgam turbalary, elektropirlenen içki diwarlary bolan 00Cr17Ni12Mo2Ti pes uglerod poslamaýan polat turbalaryndan (316L), klapanlar bolsa şol bir materialyň poslamaýan polatdan ýasalan klapanlaryndan ýasalýar.
Arassa gury gysylan howa (CDA) ulgam turbalary OCr18Ni9 poslamaýan polat turbalardan (304), içki diwarlary ýalpyldawuk we klapanlar şol bir materialyň poslamaýan polatdan ýasalan klapanlaryndan ýasalýar.
Dem alýan gysylan howa (BA) ulgam turbalary, ýalpyldawuk içki diwarlary bolan OCr18Ni9 poslamaýan polat turbalardan (304), klapanlar bolsa şol bir materialyň poslamaýan polatdan ýasalan klapanlaryndan ýasalýar.
Amal vakuum (PV) ulgam turbalary UPVC turbalaryndan, klapanlar şol bir materialdan ýasalan wakuum kebelek klapanlaryndan ýasalýar.
Arassalaýjy wakuum (HV) ulgam turbalary UPVC turbalaryndan, klapanlar şol bir materialdan ýasalan wakuum kebelek klapanlaryndan ýasalýar.
Gasörite gaz ulgamynyň turbalarynyň hemmesi elektropirlenen içki diwarlary bolan 00Cr17Ni12Mo2Ti pes uglerod poslamaýan polat turbalardan (316L), klapanlar bolsa şol bir materialyň poslamaýan polatdan ýasalan klapanlaryndan ýasalýar.
3 Turbageçirijileri gurmak we oturtmak
3.1 "Arassa zawod binasynyň dizaýn kodunyň" 8.3 bölüminde turbageçirijiler üçin aşakdaky düzgünler göz öňünde tutulýar:
(1) Turba birikdirmeleri kebşirlenmeli, ýöne gyzgyn galvanizli polat turbalar ýüplenmeli. Threadüplükli baglanyşyklaryň möhürleýji materialy bu spesifikasiýanyň 8.3.3-nji maddasynyň talaplaryna laýyk gelmelidir.
.
(3) Turbageçirijiler bilen enjamlaryň arasyndaky baglanyşyk enjamyň birikme talaplaryna laýyk gelmelidir. Şlang birikmelerini ulananyňyzda demir şlanglar ulanylmaly
(4) Turbageçirijiler bilen klapanlaryň arasyndaky baglanyşyk aşakdaky düzgünlere laýyk gelmelidir
Highokary arassa gaz turbageçirijilerini we klapanlaryny birleşdirýän möhürleýji material, önümçilik prosesiniň talaplaryna we gaz aýratynlyklaryna laýyklykda metal gazyklary ýa-da goşa ferrulary ulanmalydyr.
Threadüplükli ýa-da flanes baglanyşygyndaky möhürleýji material polietetrafluoroetilen bolmaly.
3.2 Aýratynlyklaryň we degişli tehniki çäreleriň talaplaryna laýyklykda ýokary arassa gaz turbalarynyň birikmesini mümkin boldugyça kebşirlemeli. Kebşirleýiş wagtynda göni kebşirlemekden gaça durmaly. Turbanyň ýeňleri ýa-da taýýar bogunlary ulanylmaly. Turbanyň ýeňleri turbalar bilen birmeňzeş materialdan we içki ýüzüň tekizliginden bolmaly. derejesi, kebşirleýiş döwründe, kebşirleýiş böleginiň okislenmeginiň öňüni almak üçin, kebşirleýiş turbasyna arassa gorag gazy girizilmelidir. Poslamaýan polat turbalar üçin argon ark kebşirlemeli we turba şol bir arassalygyndaky argon gazy girizilmeli. Threadüplükli baglanyşyk ýa-da sapakly baglanyşyk ulanylmaly. Flanesleri birleşdireniňizde, ýüplükli birikmeler üçin ferrular ulanylmaly. Metal gazyklary ulanmaly kislorod turbalaryndan we wodorod turbalaryndan başga, beýleki turbalar polietrafluoroetilen gazkalaryny ulanmalydyr. Gazetlere az mukdarda silikon kauçuk ulanmak hem täsirli bolar. Möhürleme täsirini güýçlendiriň. Flanes birikdirilende şuňa meňzeş çäreler görülmeli.
Gurmak işleri başlamazdan ozal turbalary jikme-jik wizual gözden geçirmek,armatura, klapanlar we ş.m. amala aşyrylmalydyr. Ordinaryönekeý poslamaýan polat turbalaryň içki diwary gurulmazdan ozal duzlanmalydyr. Kislorod turbageçirijileriniň turbalary, armaturlary, klapanlary we ş.m. nebitden düýbünden gadagan edilmeli we gurulmazdan ozal degişli talaplara laýyklykda gaty peselmeli.
Ulgam gurulmazdan we ulanylmazdan ozal, iberiş we paýlaýyş turbageçiriji ulgamy gowşurylan ýokary arassa gaz bilen doly arassalanmalydyr. Bu diňe bir gurnama işinde sistema tötänleýin düşen tozan bölejiklerini ýok etmek bilen çäklenmän, turba diwary tarapyndan sorulýan çyglylygy öz içine alýan gazyň bir bölegini we hatda turba materialyny aýryp, turbageçiriji ulgamda guradyjy rol oýnaýar.
4. Turbageçiriji basyş synagy we kabul etmek
(1) Ulgam gurlansoň, ýörite gaz turbageçirijilerinde ýokary zäherli suwuklyklary daşaýan turbalaryň 100% radiografiki barlagy geçiriler we hili II derejeden pes bolmaly däldir. Beýleki turbalar nusga alma radiografiki gözden geçirilmelidir we nusga alma gatnaşygy 5% -den, hil III derejeden pes bolmaly däldir.
(2) weýran ediji barlagdan geçensoň, basyş synagy geçirilmelidir. Turbageçiriji ulgamyň guraklygyny we arassalygyny üpjün etmek üçin gidrawliki basyş synagy geçirilmeli däl, pnewmatik basyş synagy ulanylmaly. Howa basyşy synagy, arassa otagyň arassalyk derejesine laýyk gelýän azot ýa-da gysylan howa arkaly geçirilmelidir. Turbageçirijiniň synag basyşy dizaýn basyşyndan 1,15 esse, wakuum turbasynyň synag basyşy 0,2MPa bolmaly. Synag wagtynda basyş ýuwaş-ýuwaşdan ýokarlanmalydyr. Haçan-da basyş synag basyşynyň 50% -ine çenli ýokarlananda, haýsydyr bir näsazlyk ýa-da syzma tapylmasa, basyş basyşyny 10% ýokarlandyrmagy dowam etdiriň we synag basyşyna çenli basyşy her derejedäki 3 minut durnuklaşdyryň. . Basyşy 10 minut durnuklaşdyryň, soňra basyşy dizaýn basyşyna azaldyň. Basyşyň saklanyş wagty syzmagy kesgitlemegiň zerurlyklaryna görä kesgitlenmeli. Syzdyrma ýok bolsa, köpükleýji agent hünärli.
(3) Wakuum ulgamy basyş synagyndan geçensoň, dizaýn resminamalaryna laýyklykda 24 sagat wakuum derejesini synagdan geçirmeli we basyş derejesi 5% -den ýokary bolmaly däldir.
(4) Syzmak synagy. Ppb we ppt derejeli turbageçiriji ulgamlar üçin, degişli aýratynlyklara görä, hiç bir syzma hünärli hasap edilmeli däldir, ýöne syzmagyň mukdary synagy dizaýn wagtynda ulanylýar, ýagny syzmagyň mukdary synagy howa berkligi synagyndan soň geçirilýär. Basyş iş basyşydyr we basyş 24 sagat saklanýar. Ortaça sagatlyk syzma, hünär derejesi boýunça 50ppm-den az ýa-da deňdir. Syzdyrmagyň hasaplamasy aşakdaky ýaly:
A = (1-P2T1 / P1T2) * 100 / T.
Formulada:
Bir sagatlyk syzmak (%)
P1-Synagyň başynda mutlak basyş (Pa)
P2-Synagyň ahyrynda mutlak basyş (Pa)
Synagyň başynda T1-mutlak temperatura (K)
Synagyň ahyrynda T2-mutlak temperatura (K)
Iş wagty: 12-2023-nji dekabry